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 Introduction
Le pouvoir séparateur d'un
microscope optique (i.e. son grossissement) est limité par la longueur
d'onde de la lumière visible ; aucun détail de dimension supérieure
à 0,2 µm ne peut être observé. Aussi l'utilisation de
particules accélérées de plus courte longueur d'onde associée
permet-elle d'augmenter le grossissement. Le choix d'électrons accélérés,
pour produire un rayonnement de courte longueur d'onde, est déterminé
par plusieurs critères :
- la masse faible de ces particules
qui peuvent être accélérées et focalisées au
moyen de champ électrique ou magnétique
- une source d'électrons est
aisée à mettre en œuvre
- les électrons sont plus
facilement focalisés que les particules plus lourdes
- l'interaction des électrons
avec la matière est plus faible que pour des particules plus lourdes
Il existe deux types de microscopes électroniques
:
- à
transmission : ils ne
permettent d'observer que des échantillons d'épaisseur
suffisamment faible pour être transparents aux électrons (quelques
dizaines de nanomètres)
- à réflexion : opère à la surface d'objets
massifs
Ces microscopes sont dits à balayage
lorsque l'image est obtenue point par point (6 à
10 nm).
Historique
Le microscope électronique à
balayage (MEB) a été imaginé pour la première fois
en Allemagne, dans les années 1930, par Knoll et von Ardenne et développé
par Zworykin,
Hillier
et Snyder
dans les laboratoires RCA aux Etats-Unis (1940).
Mais la microscopie électronique
à balayage a connu son véritable essor entre 1948 et 1965, grâce
aux progrès techniques de la télévision et des détecteurs
d'électrons et grâce aux recherches d'Oatley et de ses
condisciples à Cambridge. Cette nouvelle technologie a permis, du fait de
sa profondeur de champ, l'observation du relief d'échantillons massifs.
 
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